罗茨真空泵(简称罗茨泵)泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与真空泵壳内壁之间,保持有一家的间隙,可以实现高转速运行。由于罗茨泵串联使用。 罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与真空泵壳之间的空间内,再经排气口排出。由于吸气后的VO空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。
但当转子顶部转过排气口边缘,VO空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间VO中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出真空泵外。
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